本發(fā)明涉及鉭酸鋰薄膜紅外探測(cè)器及制法。本發(fā)明包括:一紅外濾波窗口,一諧振斬波調(diào)制器,一聚焦透鏡,一熱釋電鉭酸鋰薄膜紅外探測(cè)頭,一熱沉腔體,一前置放大器,一低通濾波器,一電源及信號(hào)輸出接口,一殼體,一環(huán)境溫度探測(cè)補(bǔ)償器。探測(cè)器制法,包括:選基底,在其正反面生長(zhǎng)SiO2層,依次在正面沉積Si3N4層,濺射Ti層,濺射光刻Pt電極層,制備鉭酸鋰薄膜層,沉積光刻Al電極層,生長(zhǎng)光刻SiNX抗反射層,濺射黑層,完成制作雙元結(jié)構(gòu)紅外探頭。聚焦透鏡上涂防反射膜。紅外窗口貼窄帶濾波膜。前置放大器用JFET管或運(yùn)放搭建。低通濾波器由運(yùn)放搭建。諧振斬波調(diào)制器用壓電驅(qū)動(dòng),或電磁驅(qū)動(dòng),諧振頻率為1Hz~1000Hz。
聲明:
“鉭酸鋰薄膜紅外探測(cè)器及制法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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