本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種鈮酸鋰薄膜集成
芯片、光電子器件和光纖陀螺,該集成芯片自下而上依次包括襯底、下包層、鈮酸鋰薄膜波導(dǎo)芯層、上包層,其中,鈮酸鋰薄膜波導(dǎo)芯層包括依次連接的入射單元、起偏單元、Y分支耦合單元、模式濾除單元、Y分支分束單元、相位調(diào)制單元和諧振單元。本發(fā)明實(shí)施例通過(guò)利用鈮酸鋰薄膜低損耗、小尺寸、高電光性能等優(yōu)勢(shì),實(shí)現(xiàn)起偏、分束、合束、調(diào)制以及諧振等多種功能單片集成,解決了多種
異質(zhì)材料混合集成技術(shù)存在熱匹配、光耦合損耗等問(wèn)題,提高芯片集成的集成度和可靠性,簡(jiǎn)化工藝流程。
聲明:
“鈮酸鋰薄膜集成芯片、光電子器件和光纖陀螺” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)