本發(fā)明公開了一種利用等離子去除
鋰電池電極片鋁屑的處理工藝及裝置,該處理工藝包括:a、將分切好的鋰電池電極片豎直放置在一密封的刻蝕腔體內(nèi)的轉(zhuǎn)盤上;b、通過抽氣裝置將刻蝕腔體抽至真空狀態(tài);c、通過氣體進(jìn)口向刻蝕腔體內(nèi)通入刻蝕氣體,由射頻源將通入的刻蝕氣體激發(fā)成等離子體來對(duì)鋰電池電極片的分切斷面進(jìn)行刻蝕;d、通過抽氣裝置將刻蝕掉的物質(zhì)吸走并排放掉,然后從通入氧氣。本發(fā)明通過射頻源對(duì)刻蝕氣體進(jìn)行激活成等離子體,利用等離子體對(duì)鋰離子電極片的分切斷面上的鋁屑進(jìn)行刻蝕處理,產(chǎn)生的等離子體在電極片的負(fù)偏壓電源作用下,高速轟擊鋰離子電極片的邊緣并產(chǎn)生刻蝕效果,來達(dá)到去除電極片邊緣鋁屑的目的。
聲明:
“利用等離子去除鋰電池電極片鋁屑的處理工藝及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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