本發(fā)明涉及一種在
鋰電池生產(chǎn)用軋輥表面制備氮化鈦膜層的方法,包括步驟(1)對(duì)鋰電池生產(chǎn)用軋輥表面進(jìn)行預(yù)處理;(2)將預(yù)處理后軋輥固定在氮化爐內(nèi)工件臺(tái)上進(jìn)行自轉(zhuǎn),并將鈦或者鈦合金靶材裝配在靶材工裝上;(3)對(duì)氮化爐進(jìn)行抽真空后通入氮?dú)猓?4)以軋輥為陰極,氮化爐為陽(yáng)極,在軋輥和氮化爐之間加載直流脈沖高壓電進(jìn)行通電,氮?dú)獍l(fā)生電離,軋輥周圍含氮?dú)怏w產(chǎn)生輝光放電,進(jìn)行離子滲氮處理;(5)離子滲氮處理后,經(jīng)離子源向氮化爐內(nèi)注入氮化鈦離子束,調(diào)節(jié)氮化鈦離子束注入的溫度、能量、束流和劑量,對(duì)軋輥表面進(jìn)行高能離子注入處理,冷卻至室溫,形成氮化鈦膜層。本發(fā)明耐磨性及結(jié)合強(qiáng)度好,表面硬度高,孔隙率底,不會(huì)剝落。
聲明:
“在鋰電池生產(chǎn)用軋輥表面制備氮化鈦膜層的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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