本發(fā)明屬于薄膜窄帶濾光片技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種基于鈮酸鋰薄膜的可調(diào)諧FP濾光片,包括:襯底、第一金屬層、電光可調(diào)諧鈮酸鋰薄膜通光層、第二金屬層,通過控制所述第一金屬層和第二金屬層之間的電壓,可以調(diào)節(jié)所述可調(diào)諧濾波器的本發(fā)明的可調(diào)諧FP濾光片的中心波長。本發(fā)明采用的鈮酸鋰薄膜作為光學(xué)干涉薄膜中半波共振腔的腔體材料,其具有較寬的透光窗口、較高的電光系數(shù)以及較好的溫度穩(wěn)定性,可以大幅降低窄帶可調(diào)諧濾波器的光學(xué)損耗,同時(shí)實(shí)現(xiàn)中心波長的可調(diào)諧。本發(fā)明可以有效改善現(xiàn)有MEMS熱光調(diào)諧濾波器存在的光損耗大,調(diào)諧速度慢、溫度敏感等問題,在光傳感領(lǐng)域具有良好的應(yīng)用前景。
聲明:
“基于鈮酸鋰薄膜的可調(diào)諧FP濾光片” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)