本發(fā)明涉及超快太赫茲技術(shù)領(lǐng)域，為提高THz波的產(chǎn)生效率和方向性，獲得高功率和高質(zhì)量的THz波，同時(shí)實(shí)現(xiàn)電光調(diào)制THz波的輸出功率，本發(fā)明，基于鈮酸鋰晶體的波導(dǎo)型電光調(diào)制太赫茲波發(fā)生器，結(jié)構(gòu)如下：飛秒激光泵浦源，其輸出脈沖首先經(jīng)過二分之一波片，選擇其偏振方向平行于二維波導(dǎo)面的長軸方向，再經(jīng)擴(kuò)束和準(zhǔn)直器，再經(jīng)柱透鏡形成線光源，并聚焦到波導(dǎo)型電光調(diào)制鈮酸鋰晶體的入射面，在鈮酸鋰晶體內(nèi)部由光學(xué)整流效應(yīng)產(chǎn)生THz波，THz波沿波導(dǎo)型電光調(diào)制鈮酸鋰傳播，通過泵浦光與THz波的群速度匹配和波導(dǎo)作用實(shí)現(xiàn)光波到THz波的轉(zhuǎn)換，然后經(jīng)THz柱透鏡壓縮長軸方向后輸出。本發(fā)明主要應(yīng)用于設(shè)計(jì)制造場合。