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鈮酸鋰薄膜多功能集成光學器件及其制造方法

664 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 21:35:41

本發(fā)明公開了一種鈮酸鋰薄膜多功能集成光學器件，包括：基底材料、下層電極、下緩沖層、鈮酸鋰薄膜、波導耦合器、Y分支波導、上緩沖層、波導耦合器吸收層電極和Y分支波導調(diào)制器電極。本發(fā)明所述鈮酸鋰薄膜多功能集成光學器件可實現(xiàn)3dB波導耦合器與Y波導調(diào)制器的單片集成，有利于該集成芯片的小型化，可實現(xiàn)光纖陀螺用集成光學器件集成度的提升、光纖陀螺儀體積的縮小以及光纖陀螺系統(tǒng)可靠性的提升。本申請還公開了一種制造上述鈮酸鋰薄膜多功能集成光學器件的制造方法。

聲明：

“鈮酸鋰薄膜多功能集成光學器件及其制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)