本申請(qǐng)公開(kāi)了一種下沉電極鈮酸鋰薄膜電光調(diào)制器,通過(guò)在鈮酸鋰薄膜脊型波導(dǎo)兩側(cè)制作下沉電極,使得電極間電場(chǎng)沿水平方向分布,增大了外加電場(chǎng)與波導(dǎo)內(nèi)光場(chǎng)的相互作用。與現(xiàn)有共面電極結(jié)構(gòu)鈮酸鋰薄膜電光調(diào)制器相比,本申請(qǐng)可以降低電光調(diào)制器半波電壓,從而有效降低電光調(diào)制器功耗。
聲明:
“下沉電極鈮酸鋰薄膜電光調(diào)制器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)