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射頻等離子體增強化學氣相沉積實現(xiàn)磷酸鐵鋰導電層包覆的方法

1114 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 21:34:53

本發(fā)明公開了一種射頻等離子體增強化學氣相沉積實現(xiàn)磷酸鐵鋰導電層包覆的方法。它包括以下步驟：將磷酸鐵鋰置于反應室中，在稀釋的反應性氣體中，在射頻等離子體下，反應10～120min，反應室的總氣壓維持在10～1000Pa，射頻等離子體的電源輸出功率為60～400W，所述的稀釋的反應性氣體是由稀釋氣體和反應性氣體按照體積比5～20：1混合而成，所述的反應性氣體為硅烷、SiH3Cl、SiH2Cl2、硼烷、鍺烷、磷烷或任意兩者的混合氣體，所述的稀釋氣體為氫氣、氮氣、氦氣、氖氣、氬氣、氪氣、氙氣中的任意一種，由此而制得導電層包覆磷酸鐵鋰。本發(fā)明與常規(guī)的化學氣相沉積相比，具有反應活性高，反應溫度低，反應時間短的優(yōu)點。

聲明：

“射頻等離子體增強化學氣相沉積實現(xiàn)磷酸鐵鋰導電層包覆的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)