一種用于GaN基襯底的摻鈦鋁酸鋰晶片的制備 方法,包括下列步驟:①采用提拉法生長含有四價(jià)鈦的摻鈦鋁 酸鋰晶體,即 Ti4+ : LiAlO2;②制片:將晶體切片并在富鋰的氣氛中利用氣相傳 輸平衡法進(jìn)行處理。經(jīng)測(cè)試,該 Ti4+ : LiAlO2晶片的熱穩(wěn)定性和抗水解性能明顯優(yōu)于純鋁酸鋰晶 片,是一種質(zhì)量較高,尺寸較大的適用作GaN基襯底的摻鈦 鋁酸鋰晶片。
聲明:
“摻鈦鋁酸鋰晶片的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)