本發(fā)明提出一種與質(zhì)子交換工藝過(guò)程相適應(yīng)的鈮酸鋰漸變折射率分布的仿真方法。本發(fā)明首先進(jìn)行質(zhì)子交換和退火工藝過(guò)程控制,構(gòu)建鈮酸鋰質(zhì)子交換模型框架,計(jì)算得到退火后波導(dǎo)所支持模式的有效折射率。構(gòu)建以鈮酸鋰漸變折射率波導(dǎo)樣本的模式有效折射率和計(jì)算得到的相應(yīng)模式有效折射率為基礎(chǔ)的評(píng)價(jià)函數(shù),進(jìn)行參數(shù)搜索匹配,建立符合自身工藝條件的鈮酸鋰質(zhì)子交換模型,實(shí)現(xiàn)不同工藝條件下鈮酸鋰漸變折射率分布的準(zhǔn)確仿真。本發(fā)明不需要額外的工藝步驟,可獲得基于自身研究條件下的晶體擴(kuò)散參數(shù),具有較高的準(zhǔn)確性和針對(duì)性,克服了現(xiàn)有方案折射率分布重構(gòu)過(guò)程的近似與不足,實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確仿真質(zhì)子交換鈮酸鋰漸變折射率分布及其光學(xué)特性的目的。
聲明:
“質(zhì)子交換鈮酸鋰漸變折射率分布的仿真方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)