一種大尺寸、高質(zhì)量鋁酸鋰晶片的制備方法,其特征是將提拉法(Cz)和氣相傳輸平衡法結(jié)合起來制備大尺寸高質(zhì)量的鋁酸鋰單晶片。本發(fā)明制備方法主要可分為兩個(gè)步驟:(1)用提拉法快速生長(zhǎng)出大尺寸(≥2英寸)鋁酸鋰晶體;(2)從所得的晶體上切取所需要的晶片,采用氣相傳輸平衡法對(duì)晶片進(jìn)行處理,可大幅度提高晶片質(zhì)量,得到高質(zhì)量的晶片。本發(fā)明方法簡(jiǎn)單,成本低,周期短,可用于解決GaN基LEDs和LDs器件制作中的關(guān)鍵問題,具有廣闊的應(yīng)用前景和巨大的經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益。
聲明:
“大尺寸高質(zhì)量鋁酸鋰晶片的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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