本發(fā)明涉及一種高沉積速率制備鋰離子固體電 解質(zhì)薄膜的方法。它采用脈沖激光沉積法與氮離子源發(fā)生器相 結(jié)合制備氮化的Li3PO4薄膜,簡稱鋰磷氧氮(LiPON),沉積速率快,每小時(shí)可達(dá)0.8~2.0μm。采用本發(fā)明制備的鋰磷氧氮薄膜,其Li離子傳導(dǎo)率可達(dá)2~5×10-6s/cm。結(jié)合V2O5和MoO3等其它薄膜電極與熱蒸發(fā)制備的金屬鋰薄膜電極可組裝成全固態(tài)薄膜鋰離子電池,該電池具有良好的充放電性能。
聲明:
“高沉積速率制備鋰離子固體電解質(zhì)薄膜的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)