本公開提供了一種鈮酸鋰平面波導上的光電探測器及制備方法,自下而上分別包括鈮酸鋰平面波導本體、硅薄膜和叉指電極,所述鈮酸鋰平面波導本體自下而上依次包括鈮酸鋰襯底、二氧化硅層和鈮酸鋰薄膜,通過異質集成非晶硅薄膜的方式在LNOI上制備光電探測器,通過端面耦合的方法將光耦合到鈮酸鋰單晶薄膜中,利用光電探測器實現了對波導中傳播光的探測,其暗電流低,制備簡單,為LNOI上集成光
芯片的實現探索了道路。
聲明:
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