本發(fā)明提供一種在Z切鈮酸鋰薄膜上制作Y傳脊型光波導(dǎo)的方法,制作Y傳脊型光波導(dǎo)的方法包括:在鈮酸鋰單晶薄膜+Z面的波導(dǎo)區(qū)形成掩膜;輕質(zhì)子交換,非波導(dǎo)區(qū)在+Z面實(shí)現(xiàn)質(zhì)子交換,波導(dǎo)區(qū)在非波導(dǎo)區(qū)與波導(dǎo)區(qū)的邊界處實(shí)現(xiàn)X面質(zhì)子交換;其中,質(zhì)子源為苯甲酸和苯甲酸鋰的混合物,苯甲酸鋰的質(zhì)量比為2%。本發(fā)明提出一種在Z切鈮酸鋰薄膜上制作Y傳脊型光波導(dǎo)的方法,其主要在X切方向采用2%緩沖質(zhì)子交換,可在Z切鈮酸鋰薄膜上制備出側(cè)壁(X面)和表面(Z面)均很光滑、損耗低的Y傳脊型光波導(dǎo)。
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“在Z切鈮酸鋰薄膜上制作Y傳脊型光波導(dǎo)的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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