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離子束輻照制備鈮酸鋰納米疇結(jié)構(gòu)的方法和裝置

730   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 21:20:58
本發(fā)明涉及一種離子束輻照制備鈮酸鋰納米疇結(jié)構(gòu)的方法和裝置。其包括以下步驟:1)將待加工的鈮酸鋰樣品固定在離子束刻蝕設(shè)備的樣品臺上,調(diào)整使離子束的入射角達到工作角度;調(diào)整使離子源的中心與工件中心重合;2)將離子束刻蝕設(shè)備抽至高真空,真空度低于2×10?3Pa;通入高純度99.999%惰性氣體氬氣或氙氣,利用氣體流量計控制氣體流量,使工作真空保持在2×10?2 Pa到8×10?2Pa;3)開啟離子源,對鈮酸鋰樣品進行離子束輻照;4)將輻照后的鈮酸鋰晶體置于高溫爐中進行熱處理,其中熱處理溫度80~350℃,時間0.2~3小時。該方法利用離子轟擊在樣品表面誘導形成自組織納米疇結(jié)構(gòu),并且可以通過調(diào)控離子束參數(shù)來控制所獲得的納米疇結(jié)構(gòu)的特征。
聲明:
“離子束輻照制備鈮酸鋰納米疇結(jié)構(gòu)的方法和裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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