本發(fā)明公開了一種鈮酸鋰和SU?8混合集成空芯光子晶體光纖陀螺。本發(fā)明包括第一
芯片和第二芯片,第一芯片的一側(cè)和第二芯片一側(cè)拼接形成光纖陀螺;第一芯片包括從下到上依次層疊布置的硅襯底、二氧化硅緩沖層和鈮酸鋰單晶薄膜,所述鈮酸鋰單晶薄膜上集成布置光傳輸系統(tǒng);第二芯片包括從下到上依次層疊布置的光刻膠涂層和第二硅襯底;在光刻膠涂層上集成布置諧振腔光路。光纖陀螺中的光束在光傳輸系統(tǒng)和諧振腔光路中傳導(dǎo),通過探測器來檢測轉(zhuǎn)動(dòng)信息。本發(fā)明提高了光學(xué)陀螺系統(tǒng)的集成度,提高光纖陀螺的可靠性和環(huán)境適應(yīng)性;采用球透鏡和平面分光鏡組合的方式,實(shí)現(xiàn)將波導(dǎo)中的光耦合進(jìn)入諧振腔的功能,實(shí)現(xiàn)光在腔內(nèi)諧振的功能,有效降低了腔內(nèi)損耗。
聲明:
“鈮酸鋰和SU-8混合集成空芯光子晶體光纖陀螺” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)