本發(fā)明公開了一種
石墨烯鈮酸鋰多層結(jié)構(gòu)混合集成光學(xué)調(diào)制器及其制備方法,涉及光學(xué)調(diào)制器領(lǐng)域。該光學(xué)調(diào)制器包括雙層石墨烯鈮酸鋰光波導(dǎo),雙層石墨烯鈮酸鋰光波導(dǎo)包括第一石墨烯層、鈮酸鋰平板波導(dǎo)、第二石墨烯層、第一高折射率材料層;光輸入端和光輸出端沿平行于襯底的第一方向分布,第一方向上具有相對設(shè)置的兩端,一端與光輸入端連接,另一端與光輸出端連接;在平行于襯底且垂直于第一方向的第二方向上,第一石墨烯層的一端延伸至襯底的邊緣,鑲嵌有第一電極;第二石墨烯層相對的一端延伸至襯底另一側(cè)的邊緣,鑲嵌有第二電極。本發(fā)明制備的光學(xué)調(diào)制器調(diào)制效率高,響應(yīng)速率高,工作帶寬大,插入損耗小,器件尺寸小。
聲明:
“石墨烯鈮酸鋰多層結(jié)構(gòu)混合集成光學(xué)調(diào)制器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)