本實用新型涉及一種多基片補鋰設(shè)備,包括補鋰腔室和設(shè)于所述補鋰腔室內(nèi)的多基片放卷裝置、多基片收卷裝置、多基片引帶裝置、靶材安裝機構(gòu)組及遮蔽裝置。上述多基片補鋰設(shè)備在使用時,只需將多卷基片安裝于多基片放卷裝置上,將多卷基片的一端固定于引帶軸,然后通過引帶驅(qū)動件驅(qū)動引帶軸從多基片放卷裝置運動至多基片收卷裝置處,再將多卷基片的一端固定于多基片收卷裝置上,便可完成多卷基片同時補鋰的準備工作。如此,有利于快速高效地實施多卷基片的同時補鋰,提高了補鋰的效率。
聲明:
“多基片補鋰設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)