本申請?zhí)峁┮环N基于鈮酸鋰薄膜的可調諧集成光生微波源
芯片及系統(tǒng),包括自下而上依次層疊布置的基底晶片、下包層、鈮酸鋰薄膜以及上包層;鈮酸鋰薄膜上設有鈮酸鋰光波導;鈮酸鋰光波導包括依次連接的模斑轉換波導、第一直波導、第一彎曲波導、第二直波導、第二彎曲波導、第三直波導和光學微腔波導;上包層上與第一直波導相對應的位置設有第一金屬電極;第一金屬電極、模斑轉換波導以及第一直波導共同形成相位調制器;上包層上與光學微腔波導相對應的位置設有第二金屬電極;第二金屬電極、第三直波導以及光學微腔波導共同形成高Q微諧振器;鈮酸鋰薄膜上還設有與高Q微諧振器輸出端相連接的探測器。本申請有利于實現(xiàn)光生微波源的小型化和工程化。
聲明:
“基于鈮酸鋰薄膜的可調諧集成光生微波源芯片及系統(tǒng)” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)