本發(fā)明公開了一種鋰鈷錳氧化物靶材及其制備方法。其技術(shù)方案是:按氧化鋰∶四氧化三鈷∶二氧化錳的摩爾比為1∶(0.417~0.667)∶(1.25~2)配料,于球磨罐中球磨,得到混合料;將所述混合料置入馬弗爐中,在空氣氣氛中加熱至1000~1200℃,保溫18~30h,得到鋰鈷錳氧化物產(chǎn)物:Li(3+2x)/3Co(3?x)/3Mn(3?x)/3O4,其中:0≤x≤0.5;將所述鋰鈷錳氧化物產(chǎn)物在1000~1200℃和75~125MPa條件下,熱壓燒結(jié)1~3h,得到鋰鈷錳氧化物胚料;對所述鋰鈷錳氧化物胚料進(jìn)行精加工,清洗,制得鋰鈷錳氧化物靶材。本發(fā)明具有生產(chǎn)成本低、操作簡單、產(chǎn)品形狀和尺寸均可控的特點(diǎn),制備的鋰鈷錳氧化物靶材密度高,適用于各種物理氣相沉積法制備鋰鈷錳氧化物薄膜。
聲明:
“鋰鈷錳氧化物靶材及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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