一種用于制備多層薄膜結(jié)構(gòu)的氣相沉積方法包括:提供準(zhǔn)備用于第一層的化合物和準(zhǔn)備用于第二層的化合物的每個(gè)組分元素的蒸氣源,其中該蒸氣源包括至少鋰源、氧源、一種或多種玻璃形成元素的一個(gè)或多個(gè)源,及一種或多種過(guò)渡金屬的一個(gè)或多個(gè)源;將基材加熱至第一溫度;向已加熱的基材上共沉積來(lái)自至少鋰、氧和該一種或多種過(guò)渡金屬的蒸氣源的組分元素,其中該組分元素在該基材上反應(yīng),以形成晶態(tài)含鋰過(guò)渡金屬氧化物化合物的層;將該基材加熱至在距該第一溫度在大致170℃或更小的溫度范圍內(nèi)的第二溫度;以及向已加熱的基材上共沉積來(lái)自至少鋰、氧和該一種或多種玻璃形成元素的蒸氣源的組分元素,其中該組分元素在該基材上反應(yīng),以形成非晶態(tài)含鋰氧化物或氧氮化物化合物的層。
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“用于制造含鋰薄膜層狀結(jié)構(gòu)的氣相沉積方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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