本發(fā)明一種離子束輻照制備鈮酸鋰納米點(diǎn)疇結(jié)構(gòu)的方法和裝置。本發(fā)明方法為：1）將待加工的鈮酸鋰樣品固定在離子束刻蝕設(shè)備的樣品臺(tái)上，調(diào)整使離子束的入射角達(dá)到工作角度；調(diào)整使離子源的中心與工件中心重合；2）將離子束刻蝕設(shè)備抽至高真空，真空度低于2×10?3Pa；通入高純度99.999%惰性氣體氬氣或氙氣，利用氣體流量計(jì)控制氣體流量，使工作真空保持在2×10?2 Pa到8×10?2Pa；3）設(shè)置樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)速度、開(kāi)啟離子源，對(duì)鈮酸鋰樣品進(jìn)行離子束輻照，樣品臺(tái)的轉(zhuǎn)速為6~80轉(zhuǎn)/分鐘；4）將輻照后的鈮酸鋰晶體置于高溫爐中進(jìn)行溫度80~350℃，時(shí)間0.2~3小時(shí)的熱處理。本發(fā)明利用離子轟擊在樣品表面誘導(dǎo)形成自組織納米點(diǎn)疇結(jié)構(gòu)，并且可以通過(guò)調(diào)控離子束參數(shù)來(lái)控制所獲得的納米疇結(jié)構(gòu)的特征。