本發(fā)明涉及光學(xué)器件技術(shù)領(lǐng)域，提出一種基于異質(zhì)集成薄膜鈮酸鋰片上耦合結(jié)構(gòu)、制備方法及光器件。其中，包括薄膜鈮酸鋰光子芯片，薄膜鈮酸鋰光子芯片上通過(guò)異質(zhì)集成晶圓鍵合技術(shù)集成有III?V有源波導(dǎo)層；薄膜鈮酸鋰光子芯片上設(shè)置有鈮酸鋰波導(dǎo)層，鈮酸鋰波導(dǎo)層的輸出端與III?V有源波導(dǎo)層的輸入端垂直倏逝波耦合；III?V有源波導(dǎo)層上覆蓋有N型金屬電極和P型金屬電極。本發(fā)明通過(guò)異質(zhì)集成晶圓鍵合技術(shù)將III?V有源波導(dǎo)層集成到鈮酸鋰光子芯片上，實(shí)現(xiàn)了薄膜鈮酸鋰平臺(tái)片上光探測(cè)的功能。III?V有源波導(dǎo)層與薄膜鈮酸鋰光子芯片通過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì)的III?V/LN模斑轉(zhuǎn)換器以垂直倏逝波耦合的方式光學(xué)互連，實(shí)現(xiàn)III?V有源波導(dǎo)層與鈮酸鋰波導(dǎo)之間的高效率耦合。