本發(fā)明公開了一種原子層沉積制備磷酸鋰薄膜的方法，其特征在于：本發(fā)明采用原子層沉積技術(shù)，載氣氣流將叔丁基鋰脈沖沖入真空反應(yīng)室與待鍍基料發(fā)生化學(xué)自飽和吸附，并發(fā)生交換反應(yīng)，在待鍍基料表面生成鋰置換前驅(qū)體，所述鋰置換前驅(qū)體再與磷酸三甲酯發(fā)生還原反應(yīng)，生成單層的磷酸鋰薄膜。由于前驅(qū)體的化學(xué)吸附具有自飽和性，因此實(shí)現(xiàn)一個(gè)工藝周期完成一個(gè)單層磷酸鋰薄層沉積，每重復(fù)一個(gè)工藝周期，則在前一個(gè)單層磷酸鋰薄膜材料上層疊一個(gè)磷酸鋰薄膜單層，通過(guò)控制工藝循環(huán)次數(shù)，精確控制磷酸鋰薄膜的厚度。實(shí)現(xiàn)磷酸鋰薄膜臺(tái)階覆蓋率好，對(duì)于空間結(jié)構(gòu)復(fù)雜的樣品能夠形成很好的包覆效果，鍍層平整，均勻性強(qiáng)、穩(wěn)定性高?？朔爽F(xiàn)有技術(shù)的不足。