本發(fā)明提供一種寬帶溫度不敏感和低色散的鈮酸鋰光波導(dǎo)結(jié)構(gòu),包括鈮酸鋰平板層,所述鈮酸鋰平板層上面設(shè)置有條狀鈮酸鋰層;平板層和條狀層鈮酸鋰上面有TiO
2覆蓋層;平板層下面是SiO
2襯底層;本發(fā)明提出了利用具有負(fù)熱光系數(shù)的TiO
2覆蓋到刻蝕的鈮酸鋰
芯片上獲得對(duì)溫度不敏感的寬帶低色散光波導(dǎo),該結(jié)構(gòu)能夠加工成各種集成光子器件,可以極大提升器件性能。
聲明:
“寬帶溫度不敏感和低色散的鈮酸鋰光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)及其應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)