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鈮酸鋰光波導芯片

1038 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 20:57:25

本實用新型涉及一種鈮酸鋰光波導芯片，包括單晶硅基板、薄膜鈮酸鋰、設置在薄膜鈮酸鋰上的負熱光系數(shù)材料、設置在單晶硅基板上并包覆鈮酸鋰薄膜和負熱光系數(shù)材料的二氧化硅包層，以及設置在二氧化硅包層上的金屬電極；薄膜鈮酸鋰包括鈮酸鋰中心脊，或者，包括質子交換層和鈮酸鋰側翼。由于鈮酸鋰的折射率隨溫度的升高而增大，本實用新型利用負熱光系數(shù)材料折射率隨溫度升高而降低的特性，通過在鈮酸鋰薄膜上設置合適厚度的負熱光系數(shù)材料層，可以消除鈮酸鋰光波導有效折射率對溫度的敏感性，實現(xiàn)了幾種非熱敏設計的光波導結構，可以有效降低薄膜鈮酸鋰光波導芯片的熱光系數(shù)，使薄膜鈮酸鋰光波導的各種物理性能對溫度變化不敏感。

聲明：

“鈮酸鋰光波導芯片” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)