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鋁酸鋰和鎵酸鋰晶體的生長(zhǎng)方法

1031   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 20:51:50
一種鋁酸鋰和鎵酸鋰晶體的生長(zhǎng)方法,其特點(diǎn)是 采用碳酸鋰(Li2CO3)和氧化鋁(Al2O3)或氧化鎵(Ga2O3)為原料,按照一定比例配料,壓制成塊,直接裝入坩堝,坩堝密封后置于鐘罩式真空電阻爐內(nèi),用垂直溫梯法生長(zhǎng)晶體。原料中采用碳酸鋰(Li2CO3),使得密封坩堝內(nèi)是含CO2和O2的局部氧化氣氛,這樣既避免了爐內(nèi)氧化氣氛對(duì)發(fā)熱體和保溫材料的氧化污染,又有效克服了熔體組分因?yàn)檫€原氣氛而揮發(fā)的問(wèn)題,可以生長(zhǎng)出作為InN-GaN基藍(lán)光襯底的大面積的鋁酸鋰和鎵酸鋰晶體。
聲明:
“鋁酸鋰和鎵酸鋰晶體的生長(zhǎng)方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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