本發(fā)明公開了一種以暴露{001}晶面的銳鈦礦型二氧化鈦納米管陣列為基底的紫外光探測器及方法。紫外光探測器主要由自上而下依次布置的鈦片基底、暴露{001}晶面的銳鈦礦型二氧化鈦納米管陣列和金屬叉指電極組成;清洗鈦片并烘干為基底,在鈦片的基底上表面制作暴露{001}晶面的銳鈦礦型二氧化鈦納米管陣列,再利用光刻、濺射、剝離工藝生長獲得金屬叉指電極,在金屬叉指電極的兩個(gè)電極分別點(diǎn)上銀漿,利用銅導(dǎo)線將金屬叉指電極的兩個(gè)電極接到電路驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的兩端,得到紫外光探測器。本發(fā)明制備獲得了二氧化鈦的{001}晶面,具有更高的活性,本發(fā)明紫外光探測器具有高紫外光電響應(yīng)度和高光暗電流比和光譜響應(yīng)度。
聲明:
“以暴露{001}晶面的銳鈦礦型二氧化鈦納米管陣列為基底的紫外光探測器及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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