本實(shí)用新型聲表面波磁傳感器利用磁電
復(fù)合材料的諧振頻率隨磁場(chǎng)而變化的或特性測(cè)量磁場(chǎng),其所述壓電薄膜遠(yuǎn)離叉指電極的方向還設(shè)置有磁致伸縮薄膜、鐵磁或反鐵磁層和襯底基片,所述鐵磁或反鐵磁層位于所述磁致伸縮薄膜和襯底基片之間形成一堆棧結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型的磁傳感器具有高靈敏度、高分辨率、易于微型化、與MEMS和CMOS等工藝相兼容、功耗和成本低、驅(qū)動(dòng)電路簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn),可辨別外磁場(chǎng)的方向,而且直接輸出數(shù)字信號(hào),可與現(xiàn)代數(shù)字系統(tǒng)直接通訊,無(wú)須連接模/數(shù)轉(zhuǎn)換器。
聲明:
“基于磁電效應(yīng)的聲表面波磁傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)