本發(fā)明涉及屬于可見光探測技術(shù)領(lǐng)域,具體公開了一種具有光學(xué)微腔結(jié)構(gòu)的
鈣鈦礦光電探測器及其制備方法,包括自下而上依次設(shè)置的玻璃基板、透明導(dǎo)電電極層、光反射層、空穴傳輸層、鈣鈦礦敏感層、電子傳輸層、空穴阻擋層和金屬電極層,所述鈣鈦礦敏感層包括化學(xué)式為ABX
3的典型鹵素鈣鈦礦材料、化學(xué)式為A
1xA
21?xBM,0<X<1的一價陽離子替代的鈣鈦礦材料、化學(xué)式為ABM
1xM
23?x,0<X<3的鹵素替代固溶體鈣鈦礦材料、化學(xué)式為AB
1xB
21?xM,0<X<1的金屬替代固溶體鈣鈦礦材料及二維鈣鈦礦材料中的多種,所述鈣鈦礦敏感層的厚度為50?5000nm。通過鈣鈦礦敏感層材料的設(shè)置及鈣鈦礦薄膜做厚實,實現(xiàn)電荷窄化吸收效應(yīng),能夠有效地窄化探測器的探測半波峰寬,提高探測器探測性能。
聲明:
“具有光學(xué)微腔結(jié)構(gòu)的鈣鈦礦光電探測器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)