本實(shí)用新型涉及化學(xué)液相沉積裝置。包括爐體、與爐體頂端連接的真空系統(tǒng)、與爐體上部交錯式排列的冷凝器、冷卻水進(jìn)水管和出水管相連接的水循環(huán)系統(tǒng)、及爐體下部液體的補(bǔ)給系統(tǒng)、和爐體底部底座上放置的被加熱制品、及中心置有發(fā)熱體,制品外圍設(shè)有感應(yīng)器,感應(yīng)器與變頻電源連接的電系統(tǒng)。生產(chǎn)效率高,沉積速度快,成本低,消耗能源少,環(huán)保性好,化學(xué)裂解后,化合物可以回收再利用,不直接排放到大氣中去。提高效率幾十倍以上。具有較好的社會和經(jīng)濟(jì)效益。廣泛用于碳/碳、碳/陶等
復(fù)合材料的致密化處理工藝。
聲明:
“化學(xué)液相沉積裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)