2-B超硬復(fù)合薄膜及其制備方法,復(fù)合材料"> 2-B超硬復(fù)合薄膜及其制備方法,本發(fā)明提供了一種ScB2?B超硬復(fù)合薄膜及其制備方法。所述的ScB2?B超硬復(fù)合材料,其特征在于,其化學(xué)式為(1?x)ScB2?xB,其中0<x≤0.6。所述ScB2?B復(fù)合薄膜的制備方法,包括以下步驟:清除襯底表面雜質(zhì),腔體預(yù)加熱,襯底表面清洗刻蝕,采用用Sc、B兩靶磁控共濺射制備得到ScB2?B復(fù)合薄膜,通過(guò)控制兩個(gè)靶位電源功率和濺射時(shí)的腔體壓強(qiáng)等來(lái)實(shí)現(xiàn)組分的調(diào)節(jié),可以獲得不同物理屬性(模量、硬度、熱膨脹系數(shù)等)的組成,滿足不同的使用需求和使用場(chǎng)景。本">
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