對(duì)由塑料、
復(fù)合材料、礦物材料或玻璃制成的元件表面進(jìn)行連續(xù)處理的設(shè)備,包括一個(gè)處理室(1)用以收容待處理元件,該處理室一方面連接抽氣裝置(2)以造成室(1)內(nèi)減壓,另一方面連接用于引導(dǎo)及循環(huán)等離子氣體于該室(1)內(nèi)的裝置,所述設(shè)備還包括,處理室(1)的相對(duì)于所述等離子氣體循環(huán)方向的上游,用于產(chǎn)生放電于所述等離子氣體的裝置(5),其特征在于:處理室(1)較低部包括一個(gè)底盤(14)用以收容待處理元件,該底盤可以移動(dòng)于其以緊密方式封閉處理室(1)較低部的一個(gè)位置與底盤(14)距處理室(1)較低部一段充分距離的另一個(gè)位置之間,借此才可能放置所述的元件于該底盤(14)上。
聲明:
“用于元件表面連續(xù)處理的設(shè)備與處理方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)