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光掩模集成微塑型方法

1112   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:48:50
本發(fā)明提供一種簡(jiǎn)單低成本、可提高生產(chǎn)效率的光掩模集成微塑型方法,其包括如下步驟:S101、在顯微鏡載玻片的表面涂覆形成犧牲層,并進(jìn)行烘焙;S102、向微型模具的型腔內(nèi)滴入光刻膠,并蓋上冷卻后的顯微鏡載玻片;S103、對(duì)微型模具先進(jìn)行曝光前預(yù)加熱,即在50℃~100℃范圍內(nèi)選擇多個(gè)溫度由低至高地依次烘烤;S104、讓微型模具在紫外線光源照射下曝光,使型腔內(nèi)的納米復(fù)合材料固化;S105:對(duì)微型模具進(jìn)行曝光后烘烤,即在50℃~100℃范圍內(nèi)選擇多個(gè)溫度由低至高地依次烘烤;S106、將微型模具冷卻到室溫后,從模具中脫模,移走載玻片和三維微結(jié)構(gòu),并除去未交聯(lián)的薄膜;S107、沖洗三維微結(jié)構(gòu),并進(jìn)行干燥。
聲明:
“光掩模集成微塑型方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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