本發(fā)明提供一種柔性電容式壓力傳感器及其制備方法,屬于柔性傳感器領(lǐng)域。該傳感器包括:第一電極板、第二電極板、柔性介電層以及靜電膜,第一電極板與第二電極板相對設(shè)置,且第一電極板與第二電極板的導(dǎo)電膜表面均附著有靜電膜,柔性介電層設(shè)置于第一電極板與第二電極板之間;其中,柔性介電層是通過將用改性二氧化鈦與聚氨酯海綿結(jié)合所得的
復(fù)合材料。本發(fā)明通過將結(jié)合有改性二氧化鈦的聚氨酯作為柔性介電層,與柔性電極加壓粘合,從而實現(xiàn)高靈敏度的柔性電容式壓力傳感器制備,該傳感器具備極低檢測限,實現(xiàn)了傳感器的多功能測量。
聲明:
“柔性電容式壓力傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)