本發(fā)明屬于碳/碳
復(fù)合材料化學(xué)氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種化學(xué)氣相沉積爐的氣體預(yù)熱裝置。本發(fā)明由底座、底板、換熱底座、換熱段、頂筒、頂蓋六部分組成。本發(fā)明預(yù)熱充分,不占用有效裝料空間的預(yù)熱裝置,可以大大提高生產(chǎn)效率。
聲明:
“化學(xué)氣相沉積爐氣體預(yù)熱裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)