一種用于修整CMP墊的研磨工具包括通過金屬粘結(jié)劑聯(lián)接到基底上的磨料顆粒以及一個涂層,例如一個氟摻雜的納米
復(fù)合材料涂層。這些磨料顆??梢园匆环N自避免式隨機分布來排列。在一種實現(xiàn)方式中,一種研磨工具包括一個涂覆的板以及一個涂覆的磨料物品,該物品具有兩個研磨表面。其他的實現(xiàn)方式涉及一種用于生產(chǎn)研磨工具的方法,該研磨工具包括在其一個或多個表面上的涂層。在此還描述了用于整修CMP墊的方法。
聲明:
“耐腐蝕性CMP修整工件及其制造和使用方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)