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掃描電鏡薄樣品透射過(guò)濾-反射接收式襯度分離成像方法

674   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:24:44
掃描電鏡薄樣品透射過(guò)濾-反射接收式襯度分離成像方法屬于掃描電鏡成像技術(shù)領(lǐng)域,其特征在于,薄樣品采用懸臂梁式單端固定狀態(tài),薄樣品厚度在50~1000nm之間,透射成像方式減小了入射電子在樣品中的多重非彈性散射,增強(qiáng)了低能真二次電子和高能彈性背散射電子的發(fā)射幾率,分離了形貌襯度與通道襯度,形貌襯度與成分襯度,加速電壓為5~15kV,入射電流為10-9~10-11A,工作距離為5~15mm,獲得增強(qiáng)的單一襯度的二次電子像和背散射電子像,樣品厚度控制在透射電鏡觀(guān)察用薄膜樣品的二倍以上,使薄樣品易于制備,適于各類(lèi)掃描電鏡及多種薄樣品,如金屬及合金,復(fù)合材料,半導(dǎo)體及外延層,陶瓷,有機(jī)物及納米材料。
聲明:
“掃描電鏡薄樣品透射過(guò)濾-反射接收式襯度分離成像方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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