本實用新型公開了一種豎向連續(xù)式氣相沉積爐,涉及
復合材料制造設(shè)備領(lǐng)域。本實用新型沉積爐內(nèi)豎直方向依次設(shè)置有準備區(qū)、沉積區(qū)和冷卻區(qū),沉積爐頂部設(shè)置有通過吊繩與爐內(nèi)的預制體相連的升降機構(gòu);沉積區(qū)內(nèi)安裝有加熱器或感應(yīng)線圈;準備區(qū)、沉積區(qū)和冷卻區(qū)外部分別安裝有第一密封門、第二密封門、第三密封門;法蘭盤內(nèi)以及沉積爐內(nèi)位于沉積區(qū)的內(nèi)壁上設(shè)置有循環(huán)水冷層。本實用新型能夠做到同一個沉積爐內(nèi)對單個制備件在三個區(qū)內(nèi)分別進行連續(xù)性的進行預熱、沉積和冷卻,并依次連續(xù)性的轉(zhuǎn)換,大大加速了單個沉積爐的復合材料的制備效率,降低了反復升降溫所帶來的的能量損耗,節(jié)約了時間,方便進料和出料動作,可控性強,沉積效率高。
聲明:
“豎向連續(xù)式氣相沉積爐” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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