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用于重摻硅單晶制造的熱系統(tǒng)

801   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:23:08
本實用新型涉及一種用于重摻硅單晶制造的熱系統(tǒng),包括上保溫筒、下保溫筒、底盤保溫層、支撐蓋、大蓋和導(dǎo)流筒構(gòu)成,上保溫筒、下保溫筒和底盤保溫層采用新型復(fù)合隔熱材料;復(fù)合隔熱材料為碳氈和石墨硬氈層疊而成的多層材料,且在其內(nèi)表面涂覆有一層光亮的鉬金屬反射層;支撐蓋的材料為石墨硬氈;大蓋由石墨和石墨硬氈的復(fù)合材料制成,其復(fù)合材料下層為石墨硬氈,本實用新型解決了重摻硅單晶拉制過程中由于溫度波動而引起的組分過冷和斷苞難題,提高了重摻砷單晶軸向電阻率均勻性。
聲明:
“用于重摻硅單晶制造的熱系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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