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連續(xù)式化學氣相沉積爐

1050   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網  
2023-03-18 17:21:39
本實用新型公開了一種連續(xù)式化學氣相沉積爐,涉及復合材料制造設備領域。本實用新型沉積爐內依次設置有準備區(qū)、沉積區(qū)和冷卻區(qū);沉積區(qū)包括升降臺、至少一個旋轉承載臺、與旋轉承載臺相對應的加熱器;準備區(qū)、沉積區(qū)和冷卻區(qū)外部分別安裝有第一密封門、第二密封門、第三密封門。本實用新型能夠做到同一個沉積爐同時有三個制備件分別于三個區(qū)內進行預熱、沉積和冷卻,并依次連續(xù)性的轉換,大大加速了單個沉積爐的復合材料的制備效率,節(jié)約了時間;沉積區(qū)結構設計使裝載碳纖維預制體的承載板能夠于加熱制備過程中進行旋轉,保持內部混合氣體和加熱溫度對其表面作用的均勻性,提高了碳纖維預制體制備成品的品質。
聲明:
“連續(xù)式化學氣相沉積爐” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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