本發(fā)明供了一種金銀納米顆粒分散氧化物光學(xué)薄膜制備方法,屬于金屬納米顆粒與無機(jī)非金屬材料
復(fù)合材料技術(shù)領(lǐng)域。在濺射設(shè)備內(nèi)同時(shí)安裝Au、Ag和氧化物三個(gè)濺射靶,在每個(gè)濺射靶和基板前分別設(shè)置遮板,通過對金屬和氧化物的沉積速度的單獨(dú)控制,制備出具有納米層狀特征的金銀純金屬納米顆粒分散氧化物復(fù)合薄膜;具體步驟為:先制備Au或Ag納米顆粒單層膜,再沉積氧化物膜,然后沉積Au或Ag納米顆粒單層膜,之后再沉積一層氧化物膜。按上述順序交替沉積,制成具有層狀結(jié)構(gòu)的金銀純金屬納米顆粒分散氧化物薄膜。其優(yōu)點(diǎn)在于:具有優(yōu)良的非線形光學(xué)特性。
聲明:
“金銀納米顆粒分散氧化物光學(xué)薄膜制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)