本發(fā)明涉及化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種利用微波加熱的化學(xué)氣相沉積方法。所述方法步驟包括:(1)將石墨、碳化硅、石墨
復(fù)合材料或碳化硅復(fù)合材料中的一種,加工成所需形狀的基體,懸掛在反應(yīng)腔體內(nèi),將反應(yīng)腔體密封并抽真空至0.1~1Torr;(2)利用微波輻射加熱基體,微波的輸出功率為1~80kW,將基體加熱至500~1200℃;(3)向反應(yīng)腔體內(nèi)通入反應(yīng)氣體,通氣時(shí)間為1~20小時(shí),在通氣過程中,基體溫度保持在500~1200℃,得到薄膜材料,反應(yīng)尾氣經(jīng)過金屬屑以及噴淋洗滌完全吸收后排出。本發(fā)明利用微波加熱基體,縮短了基體升溫時(shí)間,提高了生產(chǎn)效率。
聲明:
“利用微波加熱的化學(xué)氣相沉積方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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