一種基于多晶面Ir?Pd納米粒子體系摻雜的TiO2薄膜紫外探測(cè)器及其制備方法,屬于半導(dǎo)體紫外光電探測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。按紫外光線入射方向,從下至上依次為:石英片襯底、多晶面Ir?Pd納米粒子體系摻雜的TiO2薄膜、通過(guò)磁控濺射方法制備的Au叉指電極。多晶面Ir?Pd納米粒子體系摻雜的TiO2薄膜的厚度為80~110nm;在該薄膜中,Ti與Ir的摩爾比為1:0.0005~0.002,Ti與Pd的摩爾比為1:0.0005~0.002,Ir?Pd納米粒子體系中的Ir納米粒子和Pd納米粒子均為多晶面結(jié)構(gòu)。制作多晶面Ir?Pd納米粒子體系摻雜的TiO2薄膜材料,可以在Ir,Pd納米粒子和TiO2三種材料優(yōu)良性質(zhì)的基礎(chǔ)之上,通過(guò)調(diào)節(jié)摻雜Ir,Pd納米粒子的量,更好的提升
復(fù)合材料性能,從而提高器件在紫外探測(cè)領(lǐng)域的能力,使新型紫外探測(cè)器具有廣闊的應(yīng)用前景。
聲明:
“基于多晶面Ir-Pd納米粒子體系摻雜的TiO2薄膜紫外探測(cè)器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)