本發(fā)明提供一種二硫化鉬/納米金剛石復(fù)合濕度傳感器及其制備方法,包括步驟:水熱法合成二硫化鉬/納米金剛石復(fù)合溶液,將其離心、洗滌以及超聲分散得到二硫化鉬/納米金剛石
復(fù)合材料分散液;再將該復(fù)合分散液涂覆到電極基片表面,放置入保護(hù)氣體中靜置進(jìn)行干燥處理,從而得到附著有二硫化鉬/納米金剛石復(fù)合材料薄膜的電極基片;其中電極基片包括依次設(shè)置的硅基體、二氧化硅層、二氧化硅層表面形成第一電極和第二電極以及在所述二氧化硅層、第一電極和第二電極上附著的水熱合成的二硫化鉬/納米金剛石復(fù)合材料薄膜;本發(fā)明的濕度傳感器具有較高的響應(yīng)靈敏度和快的響應(yīng)速度。
聲明:
“二硫化鉬/納米金剛石復(fù)合濕度傳感器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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