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石墨烯的化學圖形化方法

807 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 17:00:09

本發(fā)明公開了一種石墨烯的化學圖形化方法，包括以下步驟：1）在石墨烯表面涂抹光阻材料；2）將步驟1）得到的光阻材料-石墨烯復合材料曝光顯影，得到需要的圖形；3）將步驟2）得到的曝光顯影后的光阻材料-石墨烯復合材料送入反應裝置，將顯影暴露的石墨烯轉(zhuǎn)變?yōu)槭椋?）去除步驟3）得到的復合材料上的光阻材料，得到圖形化的石墨烯。本發(fā)明將需要圖形化的石墨烯部分進行保留，而將不需要的部分變成石墨烷，由于石墨烷不導電，所以不會影響石墨烯的導電性能，這樣既保證了石墨烯的功能性圖形化得以實現(xiàn)，同時也保留了石墨烯加工的可逆性。本發(fā)明能夠做到大規(guī)模、高效率的對石墨烯進行圖形化。

聲明：

“石墨烯的化學圖形化方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)