本發(fā)明涉及一種大尺寸碳化硅晶圓及其制備方法,其中,制備方法包括:在水溶液中對(duì)二氧化硅粉末進(jìn)行球磨,制得二氧化硅水溶液;將所述二氧化硅水溶液與液態(tài)丙烯腈低聚物混合,經(jīng)噴霧干燥,制得二氧化硅/液態(tài)丙烯腈低聚物
復(fù)合材料;將所述二氧化硅/液態(tài)丙烯腈低聚物復(fù)合材料與石墨進(jìn)行固相混合,經(jīng)球磨后,制得二氧化硅/液態(tài)丙烯腈低聚物/石墨復(fù)合材料;依次在惰性氣體的氣氛以及空氣氣氛下,對(duì)所述二氧化硅/液態(tài)丙烯腈低聚物/石墨復(fù)合材料進(jìn)行熱處理,制得碳化硅粉末;將所述碳化硅粉末通過(guò)3D打印制得大尺寸碳化硅晶圓。本發(fā)明采用3D打印技術(shù)制備大尺寸碳化硅晶圓,制備工藝簡(jiǎn)單,且可根據(jù)實(shí)際需求制備得到不同尺寸的碳化硅晶圓。
聲明:
“大尺寸碳化硅晶圓及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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