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化學(xué)氣相滲透增密用多料柱式工業(yè)爐

716   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 16:58:00
一種化學(xué)氣相滲透增密用多料柱式工業(yè)爐,包括爐蓋、爐體和爐座,所述爐蓋、爐體連接為一體,在所述爐蓋、爐體中設(shè)有保溫罩組成鐘罩式結(jié)構(gòu)而整體坐裝在所述爐座上;在所述爐座上設(shè)有三根或六根同圓周均布的立桿式發(fā)熱體,在所述保溫罩內(nèi)設(shè)有與所述發(fā)熱體數(shù)量相匹配的料柱室,所述料柱室上設(shè)置有布?xì)猸h(huán)。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理、能耗小、產(chǎn)能高,采用內(nèi)熱式多發(fā)熱體三相平衡組合式結(jié)構(gòu),爐子結(jié)構(gòu)緊湊節(jié)能。有效掌控?zé)崽荻?實(shí)現(xiàn)相關(guān)物理場(chǎng)的耦合,提高CVD質(zhì)量和效率。采用多層式預(yù)熱環(huán)式旋流供氣,提高反應(yīng)室氣氛均勻度。采用獨(dú)立反應(yīng)室的多料柱裝料,大大擴(kuò)大爐子產(chǎn)能和提高熱效率。適用于制備C/C復(fù)合材料剎車盤及炭/陶復(fù)合材料環(huán)形多工件的增密。
聲明:
“化學(xué)氣相滲透增密用多料柱式工業(yè)爐” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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