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靜電吸盤組件和冷卻系統(tǒng)

818   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 16:58:00
提供一種用于半導(dǎo)體制造裝置的靜電吸盤組件,其可用水冷卻,并且不發(fā)生穿透泄漏。通過(guò)調(diào)節(jié)Cu基復(fù)合材料中的具有大的熱膨脹系數(shù)的Cu和Ni以及具有小的熱膨脹系數(shù)的W和Mo的比,可以得到具有與用于靜電吸盤的氧化鋁材料相同的熱膨脹系數(shù)的高熱導(dǎo)材料。但是,由于該復(fù)合材料具有穿透泄漏,不能在真空系統(tǒng)中使用。根據(jù)本發(fā)明,通過(guò)進(jìn)行鍛造處理,可防止擊穿泄漏。同時(shí),通過(guò)電鍍或?yàn)R射施加Ni、Cr或Cu膜可改進(jìn)對(duì)冷卻板來(lái)說(shuō)很重要的耐腐蝕性。
聲明:
“靜電吸盤組件和冷卻系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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